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真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片（上電極）、上層密封用的玻璃組成，其中下電極濺射在玻璃襯底上，電極上生長(zhǎng)一絕緣層；硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴(kuò)散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。那么真空度傳感器的工作原理是什么呢？

1、真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。

2、真空傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種壓力傳感器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、通風(fēng)管道等眾多行業(yè)。

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