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導(dǎo)讀 目前是有很多朋友們對(duì)于什么是光刻膠這個(gè)信息比較感興趣，那么小編也是收集了一些什么是光刻膠相關(guān)的信息來分享給大家，希望你會(huì)喜歡哦。
1、
1、光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料，屬于工業(yè)材料。光刻膠的技術(shù)復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類。
2、普通的光刻膠在成像過程中，由于存在一定的衍射、反射和散射，降低了光刻膠圖形的對(duì)比度，從而降低了圖形的分辨率。隨著曝光加工特征尺寸的縮小，入射光的反射和散射對(duì)提高圖形分辨率的影響也越來越大。為了提高曝光系統(tǒng)分辨率的性能，人們正在研究在曝光光刻膠的表面覆蓋抗反射涂層的新型光刻膠技術(shù)。
本文到此結(jié)束，希望對(duì)大家有所幫助。
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