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壓電脈搏傳感器(脈動壓力傳感器工作原理)

2022-06-10 22:17:09 常識百科來源:
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想必現(xiàn)在有很多小伙伴對于脈動壓力傳感器工作原理方面的知識都比較想要了解,那么今天小好小編就為大家收集了一些關于脈動壓力傳感器工作原理方面的知識分享給大家,希望大家會喜歡哦。

壓力脈動信號的采集任務是由感受壓力并轉換為與壓力成一定關系的電信號輸出的傳感器完成的。適合用于采集壓力脈動信號的兩種傳感器:應變式壓為傳感器和壓阻式壓力傳感器。

應變式壓力傳感器在膜片上粘貼有應變片,四片應變片可以將脈動壓力轉換為電信號。

一種壓阻式壓力傳感器,通過有限元應力分析求得靈敏度高、線性又好的雙島硅膜片結構;采用雙面對準光刻工藝,各向異性腐蝕微機械加工制硅膜片等新技術,制造出表現(xiàn)好的傳感器。

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