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超分辨率增強(qiáng)(分辨率增強(qiáng)技術(shù))

2022-08-30 19:26:54 百科全書來源:
導(dǎo)讀當(dāng)前大家對于分辨率增強(qiáng)技術(shù)都是頗為感興趣的,大家都想要了解一下分辨率增強(qiáng)技術(shù),那么小美也是在網(wǎng)絡(luò)上收集了一些關(guān)于分辨率增強(qiáng)技術(shù)的...

當(dāng)前大家對于分辨率增強(qiáng)技術(shù)都是頗為感興趣的,大家都想要了解一下分辨率增強(qiáng)技術(shù),那么小美也是在網(wǎng)絡(luò)上收集了一些關(guān)于分辨率增強(qiáng)技術(shù)的一些信息來分享給大家,希望能夠幫到大家哦。

1、分辨率增強(qiáng)及技術(shù)(Resolution Enhancement Technique, RET)實際上就是根據(jù)已有的掩膜版設(shè)計圖形,通過模擬計算確定最佳光照條件,以實現(xiàn)最大共同工藝窗口(Common Process Window)。

2、這部分工作一般是在新光刻工藝研發(fā)的早期進(jìn)行。

本文到此結(jié)束,希望對大家有所幫助。


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