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等離子體蝕刻及其在大規(guī)模集成電路制造中的應(yīng)用（電感耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)）

2022-08-27 20:39:34 百科全書來源：

導(dǎo)讀當(dāng)前大家對(duì)于電感耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)都是頗為感興趣的，大家都想要了解一下電感耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)，那么小美也是在網(wǎng)絡(luò)上收集了一些...

當(dāng)前大家對(duì)于電感耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)都是頗為感興趣的，大家都想要了解一下電感耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)，那么小美也是在網(wǎng)絡(luò)上收集了一些關(guān)于電感耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)的一些信息來分享給大家，希望能夠幫到大家哦。

1、電感耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)是一種用于物理學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。

2、于2015年10月21日啟用。

本文到此結(jié)束，希望對(duì)大家有所幫助。

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